轴对称非球面在位测量系统的研究

摘要：

精密非球面零件是光学仪器中的关键器件之一,由于其形状复杂,精度高,采用离线测量难以保证其加工精度和加工效率.论文提出并开发了一套精密非球面零件接触式在位测量系统.通过采集测头触发时非球面零件表面的坐标数据,运用最小二乘法多项式拟合算法对误差分离后的测量数据进行拟合,然后与其设计曲面进行对比得到其面型误差.建立了在位测量系统试验平台,对轴对称非球面零件进行了单点重复测量试验,保证了系统的稳定性;对轴对称非球面零件进行了子午线测量试验,得到了其拟合方程,在此基础上对轴对称非球面零件局部进行了弓字型轨迹的在位测量试验,拟合出了其曲面形状,并与海克斯康三坐标测量机测得的结果进行了对比,二者z方向最大测量误差为0.00396mm.试验结果表明,使用该系统进行工件加工在位测量其测量精度可以满足工件加工要求,且大大降低了加工成本,提高了加工效率.

关键词：非球面测量;在位测量;接触式测量;误差分离;面型精度;测量系统设计;测量软件开发;三坐标测量

所属期刊栏目：43

分类号：TP273*.5(自动化技术及设备)

在线出版日期：2021-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：15-19,44