基于PLC的真空氦质谱自动检漏系统的设计

摘要：

制冷行业对其制冷部件有严格的漏率要求，为了适应制冷部件批量化生产背景下的高精度快速检测，设计研发了真空氦质谱自动检漏系统。该系统采用PLC与触摸屏结合的模式，充分发挥了PLC可靠高效的优势，通过触摸屏弥补了人机交互的不足，对检漏工艺进行优化，实现了工位间互不干扰的交错检测并增加了大漏剔除环节，显著提高了检漏效率。系统实际运行显示可以检测到的最小漏率可达71×10? mbar?l/s ，检漏节拍最快可达15s/只，与传统的检漏方法相比大大提高了检漏精度和节拍，实现了产品高精度的快速在线检测。

关键词：氦质谱检漏、真空、PLC、触摸屏

分类号：TB774(真空技术)

资助基金：浙江省教育厅科研项目Y201122089

在线出版日期：2013-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：64-68