康铜薄膜压力传感器的有限元分析

摘要：

　　为研究康铜薄膜的压阻特性，建立了一个压阻式压力传感器模型。康铜薄膜压力传感器采用悬臂梁结构作为弹性元件，用有限元分析软件ANSYS12.0对传感器的静态特性进行了仿真分析。通过改变载荷大小研究了传感器的线性度，发现传感器线性度良好、灵敏度较高；分析了康铜薄膜层位置和薄膜厚度对传感器输出特性的影响，得出了薄膜位置对输出电压影响较大而薄膜厚度对输出电压影响较小的结论。

关键词：康铜、合金薄膜、压力传感器、ANSYS软件

分类号：TH7;TP212(仪器、仪表)

资助基金：山西省回国留学人员科研资助项目2013-086；中北大学2011年校基金资助项目20110203

在线出版日期：2013-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：99-101