10.3969/j.issn.1009-0134.2011.3b.01
电弧离子镀膜设备中节流阀开度的检测与控制
本文介绍了电弧离子镀膜设备中基于PCL-836板卡和MCGS组态软件对节流阀开度进行检测与控制的方法.通过相应的硬件配置和软件设计,计算机直接操作PCL-836,使其输出PWM信号去控制步进电机从而驱动节流阀.同时,利用编码器将节流阀开度大小转换成电脉冲信号,由PCL-836对此脉冲信号进行计数并送入计算机.这种方法使得电弧离子镀膜设备镀膜室中的真空度控制及时、准确,从而提高了镀膜质量.
节流阀、镀膜、PCL-836、检测、控制
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TP273(自动化技术及设备)
唐山市科学技术研究与发展计划项目10110211C;河北理工大学科学研究基金项目Z201003
2011-06-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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