三极性静电吸附阵列的结构优化及分析

摘要：

针对现有静电吸附方式吸附力不足问题,根据静电吸附阵列电场的分布特性构建了三极性静电吸附模型;然后基于有限元分析方法,以静电吸附阵列吸附力输出最大化为目的,对影响静电吸附阵列吸附力的电极间隙、电极宽度和绝缘层厚度等参数进行了优化设计.实验结果与有限元仿真具有很好的一致性,验证了三极性结构设计的有效性.在实际设计过程中,在满足电极之间击穿特性及绝缘层表面耐磨特性的前提下,应减小电极宽度和绝缘层厚度,增加电极对数,从而增加电极阵列的总体边缘长度,从而提高静电吸附阵列的吸附力.

关键词：静电吸附、三极性电极、绝缘层、有限元分析

所属期刊栏目：32

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金联合项目U1304508;河南省科技攻关项目152102210140

在线出版日期：2017-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：66-72