聚合物薄膜湿敏传感器DRYCAP及其应用

摘要：

@@ 测量露点普遍采用的方法有冷镜法、金属氧化物法和聚合物法.冷镜法可以在很宽的测量范围内取得较高的精度,但由于光学测量原理的局限性使其极易受镜面污染物和灰尘的影响,精度不能令人满意.为克服上述缺点,测量系统往往附加许多额外设备,提供镜面清洗、防护等功能,故设备价格昂贵.此种测量方法往往用于精度要求极高且具有良好的操作、维护条件的场合,如实验室,对于大多数在线测量则因成本较高而不适用.金属氧化物传感器(包括Al2O3传感器)用于工业过程控制中的低露点测量,正确使用时可以测得很低的露点,缺点是长期稳定性差.由于测湿敏器件本身造成的漂移使得频繁的标定工作必不可少,而传感器不能在线标定,大多数情况下要送到原厂标定,这不仅影响正常生产,且增大了维护工作量.此外,金属氧化物传感器在高湿或冷凝的情况下一旦受损,其功能将无法恢复.芬兰Vaisala公司是聚合物薄膜测湿传感器的首创者,其利用聚合物薄膜开发的专门用于测量低露点的传感器DRYCAP性能稳定,不受冷凝水和大多数腐蚀性化学物质的影响,并且有很宽的露点测量范围、较高的精度、良好的长期稳定性,性能价格比较佳.

机标关键词：聚合物薄膜、湿敏传感器、露点测量、金属氧化物、精度要求、测量范围、稳定性、工业过程控制、性能价格比、在线测量、在线标定、氧化物法、性能稳定、维护、湿敏器件、设备价格、冷凝、聚合物法、镜面、化学物质

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分类号：TN7(基本电子电路)

在线出版日期：2004-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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