ZrO2掺杂SnO2厚膜的制备及其气敏性能研究

摘要：

采用化学共沉淀法成功地制备了ZrO2掺杂的SnO2超微粉,用丝绸印刷法制备了厚膜型气敏传感材料,并制成了平面型气敏元件.研究了不同掺杂量、不同烧结温度的厚膜材料的气敏性能.实验表明:掺杂降低了纯SnO2厚膜的电阻及敏感温区的温度,并且烧结温度对气敏性能影响较大.在200℃下,掺杂量为1%的ZrO2-SnO2厚膜对浓度为2×10-5的H2S气体具有较好的灵敏度(β=5.2),响应恢复时间均＜1 min.

关键词：厚膜、气敏器件、烧结、超微粉

所属期刊栏目：15

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

资助基金：湖北省教育厅科研项目97A085

在线出版日期：2004-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：56-58