WO3-SnO2薄膜的溶胶-凝胶制备及其气敏特性研究

摘要：

以无机盐SnCl2·2H2O为主体原料、H2WO4为掺杂剂、无水乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶工艺制备了nw:nsn=1:100的WO3-SnO2薄膜,并对其气敏性能进行研究.实验表明,掺杂量为1%的WO3-SnO2薄膜在常温下对H2S,NOx气体具有较好的气敏性能,对H2S气体的敏感温度为100℃,对NOx气体的最佳敏感温度为70℃.

关键词：气敏器件、氧化钨、氧化锌、溶胶-凝胶法、薄膜

所属期刊栏目：15

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

资助基金：湖北省教育厅科研项目97A085

在线出版日期：2004-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：52-55