粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件的性能

摘要：

通过对粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件性能的测试和探讨,总结出反应升温△trea与气体浓度C存在关系△trea=(ACn)/(1+BCm)(其中A,B＞0,n＞m＞0),同时发现:湿度对灵敏度的影响很大而对相对灵敏度影响不大;为确保测量的可靠性应避免用于测量高浓度气体,同时注意稳定测试电压,如用相对灵敏度进行测量,则可以减小湿度对测量结果(测量值)的干扰.

关键词：气敏器件、氧化锡、氧化铈、薄膜、粉末溅射、反应温变

所属期刊栏目：15

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：37-39