复杂系统光刻机的可靠性评价方法

摘要：

光刻机研发周期长且结构复杂,鉴于目前国内外缺乏系统、有效的光刻机可靠性工作水平的评价方法,通过对光刻机的开发流程与可靠性工作项目相结合的研究,提出了一种适用于复杂系统光刻机的可靠性指数模型及相应的评价体系,主要包含可靠性设计、物料优选、可靠性试验、故障归零及现场可靠性数据等参数进行可靠性工作水平评价.通过实例表明,该指数可客观地用于光刻机可靠性工作评价,并有效指导企业进行可靠性的持续改进,从而提升光刻机可靠性系统管理的效率与科学化.

关键词：光刻机、可靠性、指数、评价体系

分类号：TH69(专用机械与设备)

在线出版日期：2020-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：119-122