离子束抛光研究进展

摘要：

介绍了一种新型材料表面处理技术——离子束抛光,阐述了离子束表面抛光的基本原理及国内外离子束抛光的发展.介绍了离子束抛光作为一种新型表面抛光方法在研究领域中的应用,并综述了近年来离子束抛光研究的发展动态,简述了国内外相关领域的主要研究成果及取得的进展,对离子束抛光技术做出了展望.

关键词：离子束、抛光、材料表面处理、发展

分类号：TN29(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金项目:基于扫描电子束的新型抛光技术机理和数学建模研究51665009

在线出版日期：2019-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31