高速宏微运动平台及精密定位方法

摘要：

围绕微电子精密制造封装装备的高性能要求,在宏微复合定位技术的基础上,提出一种新型宏微复合精密定位平台及其精密定位方法.首先利用ADAMS/view对平台进行动力学分析与仿真,明确弹簧刚度与预紧力因素对系统性能的影响,使得符合封装装备高频往复的工作要求.然后提出宏微复合运动的PID切换控制方法,实现平台的控制系统开发,搭建其宏微复合定位平台,并开展其定位性能的实验.结果 表明,在速度为0.25 m/s,加速度为5 9的20 mm运行条件下,平台能够实现40 nm的定位精度且稳定时间小于105 ms.

关键词：宏微复合平台、音圈电动机、压电陶瓷、双PID定位方法、动力学

分类号：TH-39

资助基金：国家自然科学基金项目51675106,U1601202;广东高校建设重大科研项目17ZK0091

在线出版日期：2019-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：117-121