超精密液体静压回转工作台研制

摘要：

对某高精度立式磨床用回转工作台采用液体静压直驱转台总体技术方案以保证其良好的动态特性和回转精度;支承系统采用液体静压支承以获得高的承载能力、刚度以保证工艺系统刚性;针对转台高动态回转精度要求,考虑油膜误差均化,确定了其关键零件部件精度并采用手工研磨方式保证了其制造精度,实现了转台系统全转速范围内0.25 μm动态回转精度;针对电动机发热和油膜剪切发热,采用稀油大流量静压支承、止推上置电动机下置、电动机强冷等技术措施保证了回转工作台良好的热态特性,工作端热伸长小于4μm.研制的静压回转工作台应用于立式磨床,实现了外圆内孔圆度0.45 μm的磨削精度.

关键词：立式磨床、静压回转工作台、支承设计、精度设计、热态特性

分类号：TG502(金属切削加工及机床)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2011YQ130043;中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金重点项目K855.K856;中国工程物理研究院909重大科技专项9020602

在线出版日期：2018-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：156-159