液动压悬浮抛光机床的设计与研究

摘要：

为了解决纳米薄膜生长所需的原子级超光滑表面制备问题,基于液动压悬浮抛光新方法开展液动压悬浮抛光机床的设计研究.利用铝基盘作上抛光盘,高磷合金铸铁盘作下抛光盘,抛光工件贴于上抛光盘上,上下抛光盘保持一定的间隙并浸没在抛光液中,结合高精度的滚珠花键轴和导轨即可实现新型的非接触式抛光—液动压悬浮抛光.

关键词：超光滑表面、液动压悬浮、抛光盘、非接触式

分类号：TG502(金属切削加工及机床)

资助基金：国家自然科学基金;浙江省自然科学基金;浙江省自然科学基金一般项目

在线出版日期：2017-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：128-132