大口径平面快速抛光机床误差模型研究

摘要：

介绍了大口径平面光学元件快速抛光机床的加工原理,分析了全口径抛光工艺中抛光模与工件之间的精度传递关系,并推导了修整器几何参数对抛光模修整精度及元件加工面形精度的影响规律.对大口径平面快速抛光机床的各项几何误差源进行了分析,并基于多体系统理论,建立了机床修整轴综合空间姿态误差的理论计算模型,详细阐述了机床误差建模过程.

关键词：光学元件、抛光、面形精度、机床误差、模型

分类号：TH161+.2

资助基金：国家科技重大专项资助项目2013ZX04006011-101

在线出版日期：2015-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-34