基于灰度匹配理论的跨尺度微结构表面检测方法研究

摘要：

结合微结构功能表面的特点和检测要求,提出了一种以归一化灰度匹配理论为基础的跨尺度检测方法,并通过实际对比试验验证了其高效、可靠的检测效果,同时分析了光照强度对检测结果的影响,结果显示40％光照强度下检测效果最佳.最后通过在线检测实验验证了实现跨尺度微结构表面加工-检测一体化方法的可行性,对最终实现其设计-加工-检测一体化闭环系统具有重要作用.

关键词：跨尺度微结构、检测方法、归一化灰度匹配、加工-检测一体化

分类号：TH16

资助基金：“数字制造装备与技术”国家重点实验室华中科技大学开放课题DMETKF2015004

在线出版日期：2015-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：25-29