硅微球轴承接触问题的有限元分析

摘要：

利用有限元分析软件Abaqus建立了硅微球轴承的有限元模型,采用有限单元法(FEM)对微球与硅滚道的接触问题进行数值求解.考察了微球的不同尺寸和材料对硅微球轴承滚道接触应力的影响.结果表明:随着微球尺寸的增大,滚道表面最大接触压力和滚道内最大Mises应力均减小;随着微球公转速度的增大,微球材料密度对滚道侧壁表面接触压力和侧壁内Mises应力有显著的影响.该研究将为MEMS旋转机械中硅微球轴承的设计提供理论依据.

关键词：硅微球轴承、有限元、接触力学、MEMS

分类号：TH133.33

资助基金：国家自然科学基金;高等学校博士学科点专项科研基金

在线出版日期：2015-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：56-60