一种压电步进微动转台的研究

摘要：

介绍了一种基于尺蠖原理的回转式步进压电微动转台.借助柔性机械结构,将压电陶瓷的微位移以角度方式输送出来.在结构设计方面,采用柔性铰链放大结构,夹紧器和驱动器均采用双驱动器结构,实现推-拉接力运动.配以适当的四路驱动信号,实现了压电微动转台的单步、多步连续匀速转动.最后对样机进行了实验测试.实验结果表明,所设计的压电步进微动转台结构紧凑、分辨力高且运动稳定.同时,动体没有缠绕,使得驱动器可以在任意位置启动,并可在360°范围内连续匀速转动.在频率为5 Hz、幅值为30 V驱动电压下测得最小步距小于3”,在频率为40 Hz幅值为160 V的驱动电压下速度达到430.4″/S.

关键词：测量与计量、纳米定位、微动转台、压电陶瓷、柔性机构

分类号：TM282(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金50105016

在线出版日期：2012-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：77-81