微细加工用两轴联动压电平台控制系统研究

摘要：

根据微细加工的实时性、精度要求,提出压电器件的分段控制方法及其两轴联动的嵌入式控制系统结构.根据误差将压电器件控制分为恒电压控制与误差控制两个阶段,恒电压控制段采用迟滞特性主环的平均曲线估算恒值控制电压,误差控制段利用积分控制,研制了基于ARM Cortex处理器的两轴联动微细加工用压电平台控制系统.测试表明:阶跃响应稳态误差＜0.1μm,调节时间约1.2ms,超调量约5.6％；正弦响应误差-0.343～0.245 μm；轮廓稳态误差-0.084～0.079 μm,考虑系统超调,轮廓误差-0.41～0.131 μm,能满足微细加工领域的实时精确控制要求.

关键词：轮廓误差、实时性、联动控制、微细加工、轮廓控制

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：江苏省自然科学基金BK2009350;江苏省高校自然科学基金09KJB460005

在线出版日期：2012-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：125-128