10.3969/j.issn.1005-2402.2012.08.028
纳米压印光刻技术综述
文章在阐述纳米压印工艺构成要素的基础上,对几种传统压印技术工艺及其工艺变种进行了简要介绍,总结出了纳米压印中所涉及的几个关键技术问题,并对纳米压印在集成电路制造中所面临的挑战进行了分析.
纳米压印光刻、关键技术、技术挑战
TG580(金属切削加工及机床)
2012-11-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共8页
87-94
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10.3969/j.issn.1005-2402.2012.08.028
纳米压印光刻、关键技术、技术挑战
TG580(金属切削加工及机床)
2012-11-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共8页
87-94
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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