10.3969/j.issn.1005-2402.2009.07.017
三维纳米定位微动平台的设计与分析
进行了一个用于微细电火花加工的三维精密运动平台设计.对平台的传动方式、布局结构、通信模块等关键环节进行了详细分析,并进行了平台搭建工作,在此基础上测试了平台的性能.试验结果表明,该机构的动态性能和稳态性能良好,实现的双向步进运动可以达到纳米至微米量级的定位精度.
压电陶瓷、纳米定位、微动平台
TP273;TH122;TH703
浙江省教育厅科研项目;台州职业技术学院年度课题
2009-07-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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