超精密运动平台高动态性能运动部件的研究

摘要：

随着对超精密运动平台运动速度加速度和定位精度的不断提高,运动系统的动态性能的要求也越来越高,这不仅对控制系统提出了更高的要求,同时对其中运动部件的模态要求也提高了.针对此类平台的要求,开展通过陶瓷提高运动部件动态性能的研究.首先通过简化模型分析了陶瓷与铝合金部件的模态差异,认识到陶瓷可以大幅度提升运动部件的模态.然后通过理论模态分析和实验模态分析讨论了陶瓷构件设计的问题,并对运动系统进行了初步的高控制带宽跟踪实验.最后对这一设计、制造和装配研究过程中得到的经验进行了总结,为以后的深入研究打下了基础.

关键词：陶瓷、模态、运动平台、超精密

分类号：TP3;TN4

在线出版日期：2009-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40