10.3969/j.issn.1005-2402.2009.07.015
微细加工技术在国内外发展趋势的研究
研究了国内外微细加工技术的发展状况,基于MEMS器件的微细加工技术,提出了在低电位、微电流密度下电化学钝化效应基础上,用高频振动效应消除钝化,用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料,实现电解复合微细加工,这是微细加工技术的新构想及发展趋势.
MEMS器件、高频振动、窄脉冲电流、电解复合微细加工
TS2;TE6
2009-07-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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