X-Y工作台定位误差动态测量与补偿的研究

摘要：

在详细论述了精密长光栅与激光测振仪OFV-5000的测量原理和方法之后,将二者结合设计了一种X-Y工作台定位误差的动态测量与补偿方法,并且通过实验验证了该方法的有效性.

关键词：X-Y工作台、精密长光栅、激光测振仪OFV-500、定位误差、动态测量

分类号：TG8(公差与技术测量及机械量仪)

在线出版日期：2007-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：29-31