纳米测量精度光栅传感器研究综述

摘要：

概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的光栅纳米测量系统、基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理,介绍了纳米测量精度光栅传感器研究的关键技术.

关键词：光栅纳米测量、双光栅测量系统、炫耀光栅、误差修正技术、二次莫尔条纹

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;安徽省教育厅自然科学研究项目

在线出版日期：2006-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：69-72