HIWIN LM直线电动机在半导体业中的应用

摘要：

@@ 直线电动机除具有高速、高精度的特点外,还有低磨耗、无背隙、结构简单、单轴多动子控制,运动平稳及行程无限等优点;近年来广泛应用于平面液晶显示器、半导体集成电路、印刷电路板、太阳能等高科技生产设备上.如平面液晶显示器的面板检测机、激光修补机,印刷电路板的插件机、电路板钻孔机、组件/电路板检测机、半导体集成电路的焊线机、粘晶机、晶圆检测机、晶圆激光切割机、精密注胶机,以及太阳能发电面板生产及检测设备.

机标关键词：直线电动机、半导体集成电路、应用、印刷电路板、液晶显示器、检测机、太阳能发电、激光切割机、生产设备、平面、面板、晶圆、结构简单、检测设备、钻孔机、注胶机、修补机、高科技、高精度、低磨耗

分类号：TM3(电机)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：32-34