10.3969/j.issn.1005-2402.2006.04.019
基于MUMPS的MEMS集成设计方法研究
基于MUMPS(Multi-User MEMS Processes:多用户三层多晶硅表面微加工工艺流程)表面微加工工艺,根据其工艺特征,建立工艺层库.利用Pro/PROGRAM,编写自动装配工艺层模型程序,通过自主开发的软件,将工艺层模型直接导入到MEMS版图器中,从而实现三维模型到二维版图的自动转换.
微机电系统、集成设计、工艺层模型、版图设计
TG5(金属切削加工及机床)
2006-06-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
49-51