基于MUMPS的MEMS集成设计方法研究

摘要：

基于MUMPS(Multi-User MEMS Processes:多用户三层多晶硅表面微加工工艺流程)表面微加工工艺,根据其工艺特征,建立工艺层库.利用Pro/PROGRAM,编写自动装配工艺层模型程序,通过自主开发的软件,将工艺层模型直接导入到MEMS版图器中,从而实现三维模型到二维版图的自动转换.

关键词：微机电系统、集成设计、工艺层模型、版图设计

分类号：TG5(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2006-06-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：49-51