光刻机模拟工作台的精密隔振系统方案设计研究

摘要：

提出了高精密设备光刻机模拟工作平台隔振系统的设计方法和系统结构;根据国内外现行的减振方法,建立了整个模拟工作台的结构模型;根据减振要求,选择了适当的减振器.由于光刻机所处激励环境的复杂性和系统内部存在的非线性,采用了主动控制方法BP神经网络+PID控制的主动控制方法来控制整个减振系统.

关键词：光刻机、模拟工作台、主动振动控制

分类号：TH12

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）50390064

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-26