10.3969/j.issn.1005-2402.2005.10.017
非球面检测中偏心光束对焦系统设计
针对常规非球面检测技术存在的问题,特别是测量高精度工件表面具有一定的局限性,提出一种非接触式测量技术,即自动对焦测量技术.自行设计了一套偏心光束对焦系统.光路采用激光作为光源,一维位置敏感器件PSD作为光电探测器.激光、柱面平凸透镜和反射镜构成偏心光束对焦光路.电路分为PSD信号处理电路和电动机驱动电路,具有电压放大、消除地面干扰和滤波等作用.
非球面、偏心光束、自动对焦、PSD
TH12
新材料领域项目
2005-12-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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