用于纳米级三维表面形貌及微小尺寸测量的原子力显微镜

摘要：

SPM是在纳米尺度上进行测量的重要的测量仪器之一,随着SPM进入工业测量领域,SPM的校准、量值溯源和测量不确定度分析已经成为SPM能够作为计量仪器使用的关键所在.文章论述了一种计量型原子力显微镜的构成、校准以及在国际比对中的应用.

关键词：纳米技术、AFM、校准、国际比对

分类号：TH1;TG1

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：34-39