超精密加工的发展状况及影响表面质量若干因素的分析

摘要：

文章就超精密加工的应用领域进行了简述,介绍了超精密制造技术的发展状况及其发展方向,对影响超精密加工表面质量的因素进行了理论分析.指出超精密加工表面质量是由于多种因素影响形成的,提高加工表面质量的核心是降低各子集的分维数.分维数越高振动规律越复杂,其微细结构越复杂,对纳米级超精密加工表面质量影响越大.

关键词：超精密加工、表面质量、影响因素分析、分维数

分类号：TH11

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA424013

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-33,39