纳米科学和技术的新进展

摘要：

纳米科学与技术是深入到原子级微观世界的新科技,最近获得了极大的进展.这是一个新的科技发展领域,有可能使多个科技领域产生重大突破,各国都给予极大的重视.文中介绍了纳米科技几个主要方面的最新研究进展情况:纳米级精度的测量;扫描隧道显微镜和原子力显微镜;超精密加工和原子级加工;纳米材料;微型机械和微型机电系统;微型机械的制造等.

关键词：纳米科技、SPM、纳米材料、微型机电系统

分类号：TB4;TB3

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：21-31