滚珠丝杠运动平台的应用

摘要：

@@ 滚珠丝杠运动平台已逐渐广泛应用于晶圆(即硅片)和IC半导体组件的运送装置.本产品开发的主要目的是将一轴直线运动平台模块化、标准化,而使用者可根据作业内容的需要选择适当的型式及行程,组成不同的结构,以满足顾客快速、低成本的需求,维系顾客在产品市场上的竞争优势.

机标关键词：滚珠丝杠、直线运动平台、半导体组件、作业内容、维系顾客、竞争优势、产品市场、产品开发、模块化、标准化、组成、装置、应用、选择、型式、晶圆、结构、硅片、成本

分类号：TG5;TN3

在线出版日期：2004-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：76-77