步进电动机驱动的四轴超精密机床

摘要：

文章介绍了凯泽斯劳滕大学新开发一种步进电动机驱动的四轴超精密机床的结构、工作原理及步进电动机控制系统.该机床具有纳米级运动精度,可以加工圆柱、球面及非球面等光学表面,表面粗糙度值小于5nm.

关键词：超精密机床、步进电动机、非球曲面

分类号：TG5(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：17-18