基于扰动前馈补偿的超精密机床伺服控制技术研究

摘要：

为消除超精密机床伺服系统中各种扰动力矩及系统参数波动对控制系统性能的影响，研究了基于扰动前馈补偿与反馈技术相结合的控制方法。利用扰动前馈控制器实时补偿系统中的扰动力矩，而利用常规反馈控制器保证了系统的良好的动态特性，并将其应用于实际系统中。实验表明：该控制策略使系统跟踪速度信号时对各种扰动有良好的抑制能力，系统的最大稳态跟踪误差小于±20nm。

关键词：超精密机床、伺服系统、前馈补偿、反馈技术

分类号：TG5(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13