10.13705/j.issn.1671-6833.2019.06.011
石墨烯谐振式压力传感器敏感结构研究
参考硅谐振式压力传感器设计了一种以石墨烯材料为梁的谐振子,对谐振子进行了理论分析及有限元仿真,揭示了其工作机理,探究了谐振子的结构参数对灵敏度的影响规律.仿真结果表明,灵敏度随着硅膜厚度、梁长度的增加而降低,随凹槽边长、深度的增加而提高;并进一步介绍了石墨烯的制备、转移及吸附与石墨烯的高精度剪裁等谐振子加工工艺.
石墨烯、谐振器、敏感结构、加工工艺、有限元法
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TN629.1(电子元件、组件)
国家自然科学基金资助项目61773045;长江学者和创新团队发展计划资助IRT_16R02
2019-12-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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