PSN-PZT陶瓷及其在加速度传感器中的应用研究

摘要：

利用传统固相烧结法制备了0.02Pb(Sb0.5Nb0.5)O3-0.98Pb1-2xBaxSrx(Zr0.53Ti0.47)O3压电陶瓷(其中x=0.02,0.03,0.04,0.05).讨论了不同Ba、Sr复合掺杂量及烧结温度对陶瓷结构和电性能的影响.结果显示,当x =0.04,烧结温度为1260℃时,压电陶瓷的性能最佳,其中d33 =615 pC/N,ε33/ε0=2224,tanδ=2.11％;然后把这个配方的陶瓷片安装到传感器中,测试其电荷灵敏度、最大横向灵敏度比和最大线性误差,电荷灵敏度为2.72 pC/(m·s-2),最大横向灵敏度比小于5％,最大线性误差为2.97％,符合通用振动测试类型传感器使用要求.

关键词：加速度传感器、PSN-PZT、压电陶瓷

所属期刊栏目：37

分类号：TM282(电工材料)

资助基金：国家新型电子元器件专项2008-1436;河南省产学研合作资助项目142107000003;河南省教育厅重点资助项目14A5300

在线出版日期：2016-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：50-53