基于条纹丢失补偿的自混合干涉位移测量算法

摘要：

自混合干涉位移传感测试系统在高反馈水平因子条件下会出现条纹丢失现象,若不加以补偿则将降低位移测量精度.基于Lang-Kobayashi方程,研究外部物体做周期运动时在高反馈水平因子条件下自混合干涉条纹丢失现象,得出反馈水平因子C和半个周期内条纹丢失数目m之间的规律为:C＜4.6,m=0;4.6≤C＜4.8,m=1;4.8≤C＜7.9,m=2;并设计基于条纹丢失补偿的自混合干涉位移测量算法,以提高位移测量精度.

关键词：位移测量、Lang-Kobayashi方程、高反馈水平因子、条纹丢失补偿

所属期刊栏目：35

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60871031

在线出版日期：2015-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：56-59