磁控溅射复合膜稳定性能研究

摘要：

针对聚四氟乙烯(PTFE)膜易受污染的问题,采用磁控溅射技术在PTFE膜表面溅射抗菌性、物化性强的纳米Ag薄膜,成功制备PTFE微孔复合膜,并将不同溅射时间条件下的复合膜经静态处理、动态处理和恶劣环境处理后,测试分析复合膜表面微结构变化质量损失率和溶液中Ag浓度变化情况,对复合膜镀膜层稳定性进行系统性研究.结果表明,复合膜表面经磁控溅射处理后沉积大量Ag粒子,与靶材材质相符;静态处理基本不会使复合膜表面结构发生明显变化,动态处理和恶劣环境处理使复合膜表面出现裂痕,局部出现膜层脱落现象,但磁控溅射时间的延长会增强PTFE微孔复合膜结构稳定性.该研究为提高膜抗污染性能提供参考,并为制备新型功能化分离膜提供新思路.

关键词：磁控溅射、纳米Ag、稳定性、复合膜

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：天津市自然科学基金重点项目18JCZDJC37000

在线出版日期：2023-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-19