一种用天然粉石英制备高纯球形纳米非品态硅微粉的方法

摘要：

@@ 技术领域本发明属于矿物材料领域,以天然优质粉石英矿物为基本原料,采用溶胶-凝胶技术制备高纯球形纳米非晶态硅微粉的方法,制备高纯球形纳米非晶态硅微粉,该产品可用作大规模、超大规模集成电路封装的高品质填料.

机标关键词：天然粉石英、凝胶技术制备、高纯球形纳米、硅微粉、纳米非晶态、集成电路封装、石英矿物、矿物材料、基本原料、超大规模、高品质、填料、溶胶、方法、发明、产品

分类号：TG2;TB4

在线出版日期：2010-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：16-17