固结磨料研磨CVD金刚石膜的运动轨迹仿真及试验研究

摘要：

CVD金刚石膜的应用范围日益扩大,已经从传统的刀具、模具领域扩展至高频通讯、光电、微电子等产业.本文首先通过理论分析建立抛光盘与工件之间的运动模型,然后根据建立的模型确定工件运动轨迹方程,并使用Matlab进行了抛光试验的运动仿真,得出了最优的抛光转速组合;最后采用电镀金刚石盘进行抛光试验,采用光学显微镜对金刚石膜抛光前后的表面形貌进行分析,采用Talysurf分析抛光前后的表面粗糙度.

关键词：CVD金刚石膜、运动仿真、电镀金刚石盘、抛光

分类号：TG321(金属压力加工)

资助基金：“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项2013ZX04001-031

在线出版日期：2018-01-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-45