大行程无耦合二维精密微定位平台设计与分析

摘要：

为了满足当前精密重型设备对于大行程微定位平台的需求,本文提出了一种压电驱动大行程无耦合的二维精密微定位平台,该平台以压电陶瓷作为驱动元件,利用菱形位移放大机构对位移进行放大输出,同时实现了平台二维大行程、无耦合独立运动.设计了微定位平台的结构,分析了平台的工作原理;运用正交分析法研究了菱形位移放大机构位移输出的影响因素,优化了菱形位移放大机构,得出了平台优化的设计参数;通过有限元软件进行仿真分析,得到了平台的输出位移、位移放大倍数、刚度、固有频率、谐响应频率及最大位移输入时的应力.

关键词：微定位平台、菱形位移放大机构、压电陶瓷驱动器、大行程

分类号：TH112

资助基金：国家自然科学基金51105257,51310105025;辽宁省高等学校杰出青年学者成长计划LQJ2014012;中国博士后科学基金2015M571327;十二五国家科技支撑计划2014BAF08B01

在线出版日期：2016-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：56-60