超精密平面光学元件检测技术

摘要：

超精密光学元件是决定高端装备性能的核心元件,在大科学装置、精密仪器等领域中被广泛应用.对光学元件进行高精度检测是保证元件质量的重要途径.光学检测技术因具有非破坏性、高精度而成为光学元件检测的有效技术.首先,对超精密光学元件主要检测技术进行了综述,重点介绍技术原理、研究现状和应用瓶颈;其次,针对光学检测技术中的相位解调问题,以波长移相测量技术为例,结合超精密平面光学元件检测,概述了相位解调算法的原理与实现过程,并对其性能进行综合评估;最后,展望光学元件检测技术的未来发展趋势.

关键词：超精密平面光学元件、光学干涉测量、波长移相、相位解调

所属期刊栏目：45

分类号：TH161.14;O657.62;TP216

资助基金：国家重点研发计划2016YFF0101905

在线出版日期：2023-08-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共20页

页码：157-176