后摩尔时代晶体管:新兴材料与尺寸极限

摘要：

在后摩尔时代,大规模半导体集成电路对功耗和集成密度的要求使得晶体管器件的开发需要在"材料、制程、结构"三个维度同步推进.文章详细梳理了近年来涌现的新兴低维半导体材料及异质结构,包括碳纳米管、过渡族金属硫属化合物、黑磷、碲烯和一维/二维范德华异质结等,并对其电学物理特性进行了深入的讨论,同时总结了这些材料在14 nm工艺节点以下超短沟道晶体管和新结构晶体管器件方面的最新进展,最后从材料角度对半导体逻辑器件的进一步发展指出方向.

关键词：后摩尔时代、低维半导体材料、范德华异质结、短沟道效应、场效应晶体管

所属期刊栏目：42

资助基金：国家自然科学基金项目51572057、51772064

在线出版日期：2020-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：221-230