钯铬合金电阻氢气传感器研究

摘要：

采用钯铬合金作为氢敏材料，利用离子柬技术制备薄膜式氢气传感器。测试了传感器对0-4%浓度范围氢气的敏感特性，结果显示，传感器对0-4％氢气浓度具有良好的线性输出特性，并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性，传感器响应信号相对强度随着温度升高减小，传感器响应时间随着温度升高而减小。

关键词：薄膜、钯铬、氢气传感器

所属期刊栏目：18

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：载人航天领域预先研究项目02010101

在线出版日期：2012-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：78-81,96