一种基于金阴极MCP的冷阴极电子源的研制

摘要：

采用深紫外光子激发金阴极产生的冷阴极电子源具有诸多优点,将其应用于电子轰击离子源(EI)有助于获得高质量的离子源.本实验分别采用在JGS2 石英玻璃上蒸镀金薄膜构成透射式金阴极、在微通道板(MCP)输入面蒸镀金薄膜构成反射式金阴极,将二者以不同的组合方式装配在一起,通过施加不同的间隙电压,从而获得较大范围的电子流输出,研制出电子束流可调(10-11~10-5 A)、均匀分布(非均匀度6.5%)的稳定输出(稳定工作时间大于5 h)电子源,有望在高质量EI源中得到推广和应用.

关键词：电子源、深紫外、金阴极、微通道板(MCP)、电子束流

所属期刊栏目：44

分类号：O657.63;O462.3(分析化学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;核探测与核电子学重点实验室项目;核探测与核电子学重点实验室项目

在线出版日期：2023-02-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：96-104,前插5