氧化锌薄膜的微观结构及其结晶性能研究

摘要：

以普通玻璃作为衬底材料,采用射频磁控溅射方法制备了氧化锌(ZnO)透明导电薄膜,通过X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)测试,研究了衬底温度对薄膜微观结构及其结晶性能的影响.结果表明:所制备的ZnO薄膜均为(002)晶面择优取向生长的多晶薄膜,其微观结构和结晶性能与衬底温度密切相关.衬底温度对ZnO薄膜的织构系数TC(hkl)、平均晶粒尺寸、位错密度、晶格应变和晶格常数都具有不同程度的影响,当衬底温度为800 K时,ZnO薄膜样品的织构系数TC(002)最高(4.929)、平均晶粒尺寸最大(20.91 nm)、位错密度最小(2.289×1015 line·m-2)、晶格应变最低(2.781×10-3),具有最高的(002)晶面择优取向生长性和最佳的微观结构性能.

关键词：氧化锌、薄膜、微观结构、结晶性能

所属期刊栏目：36

分类号：TM914

资助基金：湖北省自然科学基金资助项目2011CDB418

在线出版日期：2018-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：67-72