10.3969/j.issn.1671-9506.2019.02.018
电子工业洁净室工艺排气检测及调试
工业洁净室排放的气体包含较多有毒、腐蚀性气体,且极易产生冷凝液,对洁净室环境及工作人员安全造成很大的隐患.论文结合实际工程,对洁净室工艺排气检测和调试进行了分析,通过数据分析和对比排除安全隐患,保障工业洁净室安全运行.
电子工业、洁净室、排气、检测与调试
2019-05-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
35-38
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1671-9506.2019.02.018
电子工业、洁净室、排气、检测与调试
2019-05-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
35-38
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn