靶磁场强度对电弧离子镀沉积TiAlSiN硬质涂层内应力的影响

摘要：

用电弧离子镀制备的TiAlSiN硬质涂层,具有硬度高、致密性好、结合力优良的优点,在刀具工业中有广泛的应用市场.TiAlSiN硬质涂层的内应力不仅会影响涂层的硬度和结合力,也会影响刀具的切削寿命.研究了用电弧制备TiAlSiN涂层过程中,TiSi靶的磁场强度变化对涂层内应力的影响.结果表明,当TiSi靶的磁场从MAG3调为MAG6时,磁场强度减弱,靶材离化率降低,TiAlSiN涂层的内应力从-5.84 GPa降低到-3.16 GPa,而涂层的结合力和硬度几乎没有降低,切削寿命提高了 30%.研究为提高TiAlSiN涂层的性能,进而提升刀具的使用寿命提供了有价值的试验数据.

关键词：电弧离子镀、TiAlSiN、TiSi靶、磁场强度、内应力

所属期刊栏目：30

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2024-01-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：57-63