基于碳纳米管电子源的计量级电离真空计数值模拟研究

摘要：

通过控制电离区域内的电子轨迹和电子能量,能够使计量级电离真空计实现高稳定的超高真空测量.设计了一种基于碳纳米管(CNT)电子源的计量级电离真空计,构建了物理模型,模拟计算了电子透过率、电子传输效率和灵敏度等关键参数,并分析了不同的电子发射分布、电极电压和制造安装公差对灵敏度稳定性等关键参数的影响.该真空计的理论计算灵敏度为0.2517 Pa-1,标准偏差为7.7538×10-5 Pa-1.

关键词：计量级电离真空计、碳纳米管电子源、灵敏度、结构设计、SIMION仿真

所属期刊栏目：29

分类号：TB772+.3(真空技术)

资助基金：国家自然科学基金62171208

在线出版日期：2023-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：243-250